光学式高精度歪計測装置（生産終了）
製品の概要
- 測定対象物の形状測定を非接触・高精度にて微細な表面形状を計測する3次元形状測定装置
- 顕微鏡観察が可能で、非接触３Dマッピング、データ解析機能を搭載
主な用途
部品･製品の面制度、形状測定及び画像確認
主な特長
1.計測モード
- 自動計測モード：1方向駆動評価法、九十九折れ駆動評価法
- EXCELシート設定位置駆動方式
- ティーチング駆動方式
- マニュアル駆動方式
の選択が可能。
2.標準条件で、荒い面祖度の黒色処理製品から、光沢金属迄、詳細変更なしで、平面度測定が可能
- センサ設定条件の変更も可能で、調整ができる。
3.顕微鏡観察ができ、測定箇所の画像が残せる
- 変位測定点からX軸で＋53mm移動させることで同位置の顕微鏡観察が可能
- 顕微鏡は750倍で観測すると1μmのライン＆スペースパターンの観測ができる
制御システム
評価事例 アルミ板打痕評価
仕様・スペック
| 項目 | 内容 | |
|---|---|---|
| 本体装置 | 装置外形寸法 | W600mm×D600mm×H1300mm |
| ＸＹＺステージ | 評価台稼動範囲 | W200mm×D200mm×H30mm |
| 駆動分解能 | 10μｍ（リード2 ｍｍ、モータ：200ステップ/回転） | |
| XYZ制御方式 |
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| 変位センサ | 評価方式 | ファイバー同軸変位センサ（白色ＬＥＤ変位センサ） |
| 評価方法 | 板金加工製品 (鋼板、ステンレス、アルミニウム、メッキ、鋼板など） | |
| スポット径 | φ80μｍ | |
| 評価高さ | 40±6mm | |
| 静止分解能 | 0.08μm（動作時：ノイズを含む実力値 3σ＝1.5μm） | |
| 解析 | 3D形状測定 データ解析 |
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| 光学顕微鏡 |
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