自社開発製品

光学式高精度歪計測装置

光学式高精度歪計測装置

 

製品の概要

  1. 測定対象物の形状測定を非接触・高精度にて微細な表面形状を計測する3次元形状測定装置
  2. 顕微鏡観察が可能で、非接触3Dマッピング、データ解析機能を搭載

主な用途

部品・製品の面制度、形状測定及び画像確認

主な特長

1.計測モード

  • 自動計測モード:1方向駆動評価法、九十九折れ駆動評価法
  • EXCELシート設定位置駆動方式
  • ティーチング駆動方式
  • マニュアル駆動方式

の選択が可能。

2.標準条件で、荒い面祖度の黒色処理製品から、光沢金属迄、詳細変更なしで、平面度測定が可能

  • センサ設定条件の変更も可能で、調整ができる。

3.顕微鏡観察ができ、測定箇所の画像が残せる

  • 変位測定点からX軸で+53mm移動させることで同位置の顕微鏡観察が可能
  • 顕微鏡は750倍で観測すると1μmのライン&スペースパターンの観測ができる

制御システム

高精度歪計測装置制御システム

評価事例 アルミ板打痕評価

評価事例 3次元形状評価Φ50

仕様・スペック

 項目内容
本体装置 装置外形寸法 W600mm×D600mm×H1300mm
XYZステージ 評価台稼動範囲 W200mm×D200mm×H30mm
駆動分解能 10μm(リード2 mm、モータ:200ステップ/回転)
XYZ制御方式
  • プログラムミングによる、3軸ステップ駆動方式
  • ステップ数 :200~10000 (モードによる)
  • ティーチング機能付き
変位センサ 評価方式 ファイバー同軸変位センサ(白色LED変位センサ)
評価方法 板金加工製品 (鋼板、ステンレス、アルミニウム、メッキ、鋼板など)
スポット径 φ80μm
評価高さ 40±6mm
静止分解能 0.08μm(動作時:ノイズを含む実力値 3σ=1.5μm)
解析 3D形状測定
データ解析
  • 3次元マッピング
    (リアルカラー.・サーフェース、・ワイヤフレーム)
  • 断面形状、寸法測定、表面粗さ、表面積、体積を求める
  • データ:イメージ保存、Excelデータ変換
光学顕微鏡
  • 【対物レンズ】
    AZ25:20~250倍
    AZ75 : 62~750倍
  • CCDカメラ:20万画素(1628×1236ピクセル)
  • 同軸落射照明・リング照明(LED)
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